気圧計

　気象庁では電気式気圧計（静電容量型）を用いて気圧を観測しています。

　気圧計のセンサーは、縦・横約６ｍｍ、厚さ約１．５ｍｍのシリコン基板に薄さ約４μmの真空部を形成させたものです。大気圧の変化に伴い真空部上下の電極間に変位が生じ、その静電容量が変化することから、この僅かな変化を電気信号で得る構造となっています。